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各種真空泵的工作原理

更新時間:2007-12-21 點擊次數(shù):3082
CG-17玻璃三級高真空油擴(kuò)散泵
CG-17玻璃膨脹系數(shù)低,能更好地耐受很高的溫度差變,故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長。該泵適用于電子工業(yè),如電子管、顯象管、X光管,以及半導(dǎo)體單晶硅的冶煉提純,高沸點的油脂蒸餾提純分離,日光燈、保溫瓶高真空排氣的儀器。
工作原理
先由轉(zhuǎn)動真空泵把系統(tǒng)抽到10-2帕擴(kuò)散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié),待氣體密度達(dá)到機(jī)械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真空。

水環(huán)式真空泵/液環(huán)真空泵工作原理

水環(huán)式真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000-4000帕,串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270-670帕。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī),稱為水環(huán)式壓縮機(jī),是屬于低壓的壓縮機(jī),其壓力范圍為1-2X105帕表壓力。

水環(huán)真空泵zui初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。

泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部零為起點,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180度時,小腔面積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。
 
綜上所述,水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?BR>
羅茨泵的工作原理:

羅茨泵泵腔內(nèi),有二個“8"字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一家的間隙,可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。由于羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。

但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,VO空間與排氣側(cè)相通時,由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間VO中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵外。

旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325-1.33X10-2(帕)屬于低于真空泵。它可以單獨使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的,對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。

旋片泵是真空技術(shù)中zui基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙吸兩種。所謂雙級,就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。

旋片泵抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強(qiáng)為1333帕、1.33帕和1.33X10-1?。ㄅ粒┫拢涑樗僦捣謩e不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。
         

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